原理：温等离子体是继固态、液态、气态之后的物质第四态，当外加电压达到气体的 放电电压时，气体被击穿，产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。放电过程中虽然电子温度很高，但重粒子温度很低，整个体系呈现低温状态，所以称为低温等离子体。低温等离子体降解污染物是利用这些电子、自由基等活性粒子和废气中的污染物作用，使污染物分子在极短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到降解污染物的目的。(注：低温等离子体相对于高温等离子体而言，属于常温运行。)
等离子体反应区富含很高的物质，如电子、离子、自由基和激发态分子等，废气中的污染物质可与这些具有较高的能量物质发生反应，使污染物质在极短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到讲解污染物的目的。与传统的电晕放电形势产生的低温等离子技术相比较，等离子体技术放电密度是电晕放电的1500倍，这就是传统低温等离子体技术治理工业废气99%以失败而告终的原因。
技术特点：1.介质阻挡放电产生的低温等离子体中，电子能量高，几乎可以和所有的恶臭气体分子作用。
2.反应快，不受气速限制。
3.采用防腐蚀材料，电极与废气不直接接触，根本上解决了设备腐蚀问题。
4.只需用电，操作极为简单，无需派专职人员看守，基本不占用人工费。
5.设备启动、停止十分迅速，随用随开，不受气温的影响。
6.气阻小，工艺成熟。
