Veeco K465i外延设备滤芯_MOCVD设备过滤器_高温粉尘滤芯_玻纤滤芯 拥有的生产设备、工艺装备和高精度的检测手段 ,严格可靠的质量体系。产品具有过滤精度高、起始压差小、流通能力大、纳污容量大以及使用寿命长的特点。主要性能指标达到水准,可直接替代同类进口产品。
律特霍尔生产替代Veeco以及AIXTRON公司MOCVD设备K-465,K465i,E-300 机型的滤芯。 可根据客户要求设计,订做。(调整:尺寸,使用材料,整体构造等)为客户产品打造合适的滤芯,确保各种过滤要求,达到优秀过滤效果。
Veeco K465 K465i E300外延设备滤芯
产品说明:
该产品系我司针对Veeco K465i设备设计生产的滤芯,安装于真空泵前,用于滤除混合气体中的粉尘和颗粒;
2只/组(粗滤、细滤)
组成材料:
1、滤材: 耐高温玻纤滤料
2、支撑材料:双面304#不锈钢金属网
3、骨架:304#不锈钢菱形网
4、密封垫圈:硅发泡橡胶垫片
5、密封胶:硅橡胶
规格:
1、端盖:φ360、304#不锈钢
2、耐高温密封垫:φ340*φ265*T5
3、折数:一级(100μm):118折, 折高65mm;二级(25μm):88折,折高65mm